水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究

• 作者: 余兵 姜栋 孙嘉奕 王德生 翁立军 胡明 董春萌 高晓明
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射MoS2薄膜 水浴 结构 耐磨寿命
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 166-174
• 页数: 9页
• 分类号: TH117.3
• 字数: 4242字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16078/j.tribology.2019168

摘要

为考察水介质对二硫化钼(MoS2)薄膜结构和摩擦学性能的影响,采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理,并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究.研究发现,薄膜中同时存在晶体结构和非晶结构.随着水浴处理时间的延长,XRD分析结果中观察到薄膜中非晶相减少,微晶相增加,同时晶粒尺寸先减小后增大.另外,薄膜的枝状晶上产生了更多的细小枝状晶.薄膜中的残余应力也随水浴时间延长而发生明显变化.薄膜的摩擦学性能受到水浴的明显影响,当水浴处理时间为20 min时,MoS2薄膜的耐磨寿命达到未水浴处理薄膜的约2倍.分析认为,水浴处理导致溅射MoS2薄膜内应力、组织结构和晶体结构的变化,引起了其摩擦学性能的变化.