基于比值线性化的高适应性光栅细分方法研究

• 作者: 刘红忠 史永胜 叶国永 尹磊 赵国博
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 光栅位移传感器 电子细分 比值线性化 高适应性
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 页码范围: 781-788
• 页数: 8页
• 分类号: TB921
• 字数: 4626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.07.03

摘要

电子细分是光栅位移传感器实现纳米级分辨率测量的关键,细分误差由细分方法和光栅信号质量共同决定.针对信号实时修正方法在小步距测量和一些复杂工况环境下的局限性,从提高细分方法对非理想光栅信号的适应性的角度出发,提出了基于信号比值线性化的新型电子细分方法,构建了2种实时补偿信号以进一步提高信号的线性度;详细阐述了所提细分方法的细分原理,分析了其在非理想光栅信号输入情况下的细分误差;实现了最高为0.003 μm的理论细分精度和0.08 μm的实际细分精度.数值仿真和对比实验结果表明,所提细分方法对非理想光栅信号的适应性明显优于常用的反正切细分法和正余弦绝对值相减细分法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史永胜	西安交通大学机械工程学院	14	144	5.0	12.0
2	刘红忠	西安交通大学机械工程学院	46	349	10.0	16.0
3	尹磊	西安交通大学机械工程学院	6	20	3.0	4.0
4	赵国博	西安交通大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0
5	叶国永	西安交通大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0