下料方式和流量分配对D4合成SiO2的影响

• 作者: 吴学民 张国君 张寒 欧阳葆华 郑丽丽 黄泽宇
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 反应流数值模拟 SiO2疏松体
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 航空航天与工程力学
• 页码范围: 233-238
• 页数: 6页
• 分类号: TK16
• 语种: 中文
• DOI: 10.16511/j.cnki.qhdxxb.2019.26.050

摘要

燃烧器设计和流量控制对燃烧稳定性、SiO2生成、疏松体品质和关键组分分布有重要影响.该文通过对八甲基环四硅氧烷(OMCTS,D4)制备SiO2疏松体过程的数值研究,分析了不同下料方式,以及D4和氧气流量分配对SiO2生成效率和沉积面上关键组分分布的影响.结果 表明:采用多点下料方式可以明显提高SiO2生成率和沉积均匀性;内外D4进口流速接近时,SiO2生成率较高,并且OH浓度有所降低;根据D4质量流量分配对氧气进口流量分配进行调整,能够提高SiO2生成率,但相应的OH浓度也有所增加;但在保持D4质量流量不变的情况下,采用多点下料,导致D4进口速度降低,一定程度上降低了沉积效率.采用多点下料时,可以考虑适当提高D4流量,控制火焰温度,有利于提高SiO2生成和沉积效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张寒		9	55	3.0	7.0
2	郑丽丽		6	4	1.0	1.0
3	张国君		3	3	1.0	1.0
4	黄泽宇		2	1	1.0	1.0
5	欧阳葆华		1	0	0.0	0.0
6	吴学民		1	0	0.0	0.0