基于湿法清洗中快排槽节水性能的优化研究

• 作者: 刘建民 赵宏亮 边晓东 高津平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆清洗 快排阀 快排槽
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2201字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2020.02.012

摘要

现有的清洗设备中,当完成晶圆的清洗工艺后,再次利用快速排水的工艺方法会消耗大量水资源.针对这一问题,探讨了一种适用于该类工艺流程的节水设计方案.通过改进排放阀的结构,将废水排放与回收功能集成相结合,使得去离子水的利用率得到了提高,不仅节约了成本,并且避免了资源的浪费.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏亮	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0
2	边晓东	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0
3	刘建民	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	0	0.0	0.0
4	高津平	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	1	1.0	1.0