多重互锁安全型氢氧合成系统

• 作者: 姬常晓 陈勇平 黄志海
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 氢氧合成 热氧化工艺 安全互锁
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 6-8,32
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1299字
• 语种: 中文

摘要

介绍了半导体热氧化工艺以及热氧化工艺过程中外燃式氢氧合成系统的机理和优势,分析氢氧合成在使用过程中潜在的安全风险,有针对性的从结构、电气硬件和软件方面优化设计,提出了一种具有多重互锁功能的安全型氢氧合成系统,保证工艺过程安全可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈勇平	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	0	0.0	0.0
2	姬常晓	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	0	0.0	0.0
3	黄志海	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	0	0.0	0.0