基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动

• 作者: 吴东 李家文 胡衍雷 袁宏伟 饶生龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 空间光调制 涡旋光 光驱动
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 584-590
• 页数: 7页
• 分类号: TN249|TM359.5
• 字数: 2713字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20202803.0584

摘要

微驱动技术由于驱动方式的多样性和应用的广泛性,在近年来受到了越来越多的关注.本文提出一种利用飞秒激光同时实现微结构加工和旋转驱动的技术.利用双光子聚合加工直径20～30μm的微转子结构,然后结合空间光调制器调制出带有光学轨道角动量的光场,实现对微转子结构的旋转驱动,并获得了40 r/s的转动速率.详细介绍了利用飞秒激光直写技术加工可运动微转子结构的实验过程与优化参数,利用空间光调制器生成了不同拓扑荷的涡旋光,研究了其传播与聚焦特性,并用于驱动转子的顺、逆时针旋转运动.这种可控光学驱动技术在微流控、光镊技术、靶向药物运输、细胞动态行为等领域具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴东	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	129	1711	21.0	34.0
2	李家文	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	10	87	4.0	9.0
3	胡衍雷	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	9	18	3.0	4.0
4	袁宏伟	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	0	0.0	0.0
5	饶生龙	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	0	0.0	0.0