纳秒激光脉冲诱导硅表面微结构

• 作者: 唐多昌 李晓红 杨宏道 袁春华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 纳秒激光脉冲 激光烧蚀 表面微结构 硅 光辐射反射
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 393-396
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102202.0393

摘要

利用Nd:YAG纳秒激光脉冲,在能量密度为1～10 J/cm~2范围内辐照单晶硅,形成了表面锥形微结构,在SF_6气氛和空气环境下均形成了锥形尖峰表面微结构.SF_6气氛下产生的锥形尖峰顶端都有小球,部分锥形上还有二次尖峰形成,空气中纳秒激光诱导的锥形尖峰微结构顶端和边缘有由液滴固化形成的粒状物质,不同于利用准分子纳秒激光诱导的细长须状结构和飞秒激光辐照下产生的具有表面枝蔓状纳米结构的锥形微结构.实验结果表明,这种尖峰微结构的形成与辐照激光的波长和脉冲持续时间有关.对空气中微构造硅的辐射反射的初步研究表明,在500～2 400 nm范围内的光辐射反射率不高于20 %.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宏道	西南科技大学理学院	6	82	4.0	6.0
2	李晓红	西南科技大学理学院	15	101	6.0	10.0
3	袁春华	西南科技大学理学院	7	82	4.0	7.0
4	唐多昌	西南科技大学理学院	6	81	4.0	6.0