不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构

• 作者: 唐多昌 李国强 李晓红 杨宏道 袁春华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 激光诱导 硅 表面微结构
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 2749-2753
• 分类号: TN249
• 字数: 4284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102211.2749

摘要

利用钛宝石飞秒激光脉冲对单晶硅在SF6、空气和真空环境中进行了累积脉冲辐照,研究了硅表面微结构的演化.在SF6气氛中,在激光辐照的初始阶段,硅表面形成了1维的波纹结构,随着辐照脉冲数的增加,波纹结构演化成了2维凹凸结构.累积600个脉冲后,硅表面产生了准规则排列且具有大纵横比的锥形尖峰结构.该结构呈现高度相对较低、锥形尖端小球不明显的特征,分析认为主要与环境气压的大小有关.对比空气、SF6和真空中的微结构发现,尖峰的数密度依次减小;SF6中形成的尖峰高度最大,其次为真空,再次为空气.研究结果表明,真空、SF6和空气3种环境下微结构的形成及表面形貌主要由激光烧蚀、化学刻蚀和氧化决定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐多昌		3	17	3.0	3.0
2	李晓红		3	17	3.0	3.0
3	袁春华		3	17	3.0	3.0
4	杨宏道		3	17	3.0	3.0