贴膜条件下飞秒激光诱导硅基表面锥状微结构

• 作者: 周明 张伟 李保家
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 硅 锥状微结构 聚对苯二甲酸乙二醇酯透明膜
• 年，卷（期）: 2012,（23）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 490-497
• 分类号: TN241
• 语种: 中文

摘要

利用波长为800nm的飞秒脉冲激光，对表面贴有聚对苯二甲酸乙二醇酯透明膜的单晶硅片进行扫描，研究了不同激光制备参数对微结构形成的影响．结果表明，锥状微结构是否形成取决于激光能量密度，能量密度太小时不能形成锥状结构，能量密度太大时易破坏锥状突起；而激光扫描速度可直接影响锥状微结构的质量，扫描速度太小时也易破坏锥状结构突起，扫描速度太大时，由于作用深度太浅使得锥状结构轮廓不分明．在此基础上对实验参数进行优化，得到了较理想的锥状微结构．最后通过分析指出，贴膜条件下锥状微结构的形成是由激光烧蚀作用和氧化作用共同引起的，且激光烧蚀作用占主导．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周明	江苏大学材料科学与工程学院光子制造科学技术中心江苏省重点实验室	105	1124	19.0	29.0
2	张伟	江苏大学材料科学与工程学院光子制造科学技术中心江苏省重点实验室	66	418	10.0	18.0
3	李保家	江苏大学材料科学与工程学院光子制造科学技术中心江苏省重点实验室	17	45	4.0	6.0