ICP工艺原理与故障分析

• 作者: 曹健 王秀海 郝晓亮
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体刻蚀 感应耦合等离子(ICP) 故障分析 工艺维护
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 专用设备维护与保养
• 页码范围: 50-54
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3410字
• 语种: 中文

摘要

介绍了ICP工艺的特点、工艺原理,以及设备的基本结构.根据多年的设备维护经验,分析了ICP设备的常见故障及其起因,提出了处理措施;分析总结了影响ICP工艺质量的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王秀海	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	30	2.0	5.0
2	曹健	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	13	2.0	3.0
3	郝晓亮	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	71	2.0	6.0