用于材料表面处理的大气压等离子体射流技术研究进展

• 作者: 刘轩东 任蔷 何红庄 孙昊
• 来源期刊: 现代应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体射流 大气压 阵列 材料表面处理 电极结构
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 进展与评述
• 页码范围: 67-75
• 页数: 9页
• 分类号: TN136
• 语种: 中文
• DOI: 10.12061/j.issn.2095-6223.2020.040401

摘要

大气压等离子体射流阵列可以在开放的空间中灵活、高效地产生低温等离子体,被认为是实现等离子体射流技术大面积应用最有效的手段之一.研究表明,大气压等离子体射流阵列在材料表面改性和薄膜沉积等方面具有广阔的应用前景.但由于阵列各个单元之间复杂的相互作用,导致等离子体阵列存在着各基本单元放电不一致和下游作用面不均匀等问题,会严重影响材料表面处理的效率.本文综述了近年来大气压等离子体射流阵列的研究进展及其应用,主要包括大气压等离子体射流阵列的电极结构及放电特性,并详细介绍了在改善大气压等离子体射流阵列放电一致性和下游作用面均匀性方面的最新研究成果.