大口径碳化硅反射镜高效磨削实时补偿技术

• 作者: 于建海 于秋跃 房安利 程小权
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学材料 大口径 碳化硅 高效磨削 误差补偿
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 光学加工
• 页码范围: 502-506
• 页数: 5页
• 分类号: TH706
• 语种: 中文

摘要

碳化硅陶瓷作为光学材料已在空间相机反射镜中得到了广泛应用,而在碳化硅反射镜磨削加工过程中,砂轮会产生径向磨损,导致砂轮的形状精度发生较大变化,这将直接影响碳化硅反射镜的加工精度和加工周期.为保证磨削质量,需要对砂轮磨削产生的误差进行补偿.通过工艺试验,获得不同加工参数和加工时间下的误差补偿值,再利用五轴联动数控机床并结合UG(NX)软件快速建立母线误差曲线的补偿模型,从而实现整个磨削过程中的磨削误差实时补偿.针对Φ1.6m口径碳化硅同轴非球面反射镜,经过磨削补偿加工后的反射镜面型误差PV为27.4μm,RMS为5.5μm,实现了轻质碳化硅光学元件的安全、高效、高精度磨削加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房安利		1	0	0.0	0.0
2	程小权		1	0	0.0	0.0