基于实时工业以太网的晶圆清洗设备控制系统设计

• 作者: 孙国峰 张利军 杜婷婷 郭育澎 高建利
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 以太网 以太网控制自动化技术 控制系统
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2091字
• 语种: 中文

摘要

介绍了实时工业以太网的发展历程;对EtherCAT和TwinCAT在硬件拓扑及底层逻辑应用方面进行了分析研究;在硬件上根据接口特性设计了拓扑结构,在软件方面设计了底层逻辑程序模块,并根据底层接口提供了上位机人机界面的设计方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高建利	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	19	3.0	4.0
2	张利军	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	6	2.0	2.0
3	孙国峰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0
4	郭育澎	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0
5	杜婷婷	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0