一种高精度化学腐蚀减薄设备与减薄工艺

• 作者: 亢喆 吴娖 夏楠君 王勇威 郭立刚 马雪婷
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 化学腐蚀减薄机 减薄工艺 质量测量法
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 23-28
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.2
• 语种: 中文

摘要

减薄设备是半导体工艺中的关键设备,针对软脆材料的化学腐蚀减薄,研制出一种高精度化学腐蚀减薄机.通过分析与减薄精度相关的参数,提出采用质量测量法来提高设备测量精度;通过采用不同浓度梯度药液提高工艺精度和速度;通过合理布局设备结构,提高了设备的稳定性、可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	亢喆		3	1	1.0	1.0
2	郭立刚		6	0	0.0	0.0
3	夏楠君		10	11	2.0	3.0
4	王勇威		6	0	0.0	0.0
5	马雪婷		3	0	0.0	0.0
6	吴娖		1	0	0.0	0.0