激光干涉仪在XY工作台测量中的应用

• 作者: 金黎雷
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米级 激光干涉 位移测量
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 测试测量技术与设备
• 页码范围: 37-41
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文

摘要

激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术.其具有分辨率高、测量速度快、溯源好的特点.利用激光干涉位移测量技术,可以实现工作台的高精度测量.首先介绍了目前主要的激光干涉位移测量技术,并对干涉仪的特点进行了分析,最后介绍了激光干涉位移测量在XY工作台定位精度、垂直度测量的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金黎雷		2	0	0.0	0.0