钇和镁共掺杂ZnO薄膜的光学常数和介电性能

• 作者: 田雨 钟志有 陆轴
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺杂氧化物 薄膜 光学性能
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 500-505
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.12130/znmdzk.20200510

摘要

以钇和镁共掺杂的氧化锌(ZnO:Y-Mg)陶瓷靶为溅射源,利用射频磁控溅射工艺在石英衬底上制备了ZnO:Y-Mg薄膜,基于紫外-可见分光光度计测量的透射率数据,通过光谱拟合方法计算了不同溅射时间时薄膜样品的光学参数.结果表明,溅射时间对ZnO:Y-Mg薄膜的折射率、消光系数、介电常数等具有不同程度的影响,所有样品的折射率在可见光波段均表现为正常色散特性,其变化关系符合Sellmeier色散模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有		67	360	11.0	14.0
2	陆轴		19	78	6.0	8.0
3	田雨		4	2	1.0	1.0