近场微波显微镜软接触模式测量介电常数的研究

• 作者: 张万里 彭斌 曾慧中 鞠量 黄和
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 近场微波显微镜 软接触 介电常数
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 461-464,480
• 页数: 5页
• 分类号: TB22
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2020.06.001

摘要

近场微波显微镜测试样品介电常数依赖于针尖与样品的距离,准确控制针尖与样品距离是准确测试介电常数的基础.基于谐振腔谐振频率随针尖-样品距离接近曲线的探究,本文提出了一种准确实现探针与样品软接触的方法,采用软接触模式测量了一系列已知介电常数样品的谐振频率,并对所得的谐振频率-介电常数曲线进行拟合.结果表明,实验结果与理论非常吻合,拟合所得空载谐振频率也与实验一致.本文建立的软接触方法可准确控制针尖与样品的距离,实现介电常数的定量化准确测试.