激光修调法对LTCC内埋电阻的精确控制

• 作者: 乔璐 张艳辉 李俊 杨兴宇 贾少雄
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: LTCC 内埋电阻 波动范围 激光修调
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 封装、组装与测试
• 页码范围: 17-23
• 页数: 7页
• 分类号: TN305
• 字数: 3050字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.0613

摘要

低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)技术具有集成无源元件的优势.LTCC内埋电阻因其内部埋置的特点,无法实现烧结后精确调阻,对印刷工艺水平要求较高,且波动范围较大.主要讨论了印刷工艺下影响电阻的各参数引起的电阻波动范围,提出并采用一种印刷后激光修调电阻的方式,使内埋电阻的阻值波动范围控制到±16％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊	中国电子科技集团公司第二研究所	38	117	4.0	9.0
2	杨兴宇	中国电子科技集团公司第二研究所	3	1	1.0	1.0
3	张艳辉	中国电子科技集团公司第二研究所	3	0	0.0	0.0
4	乔璐	中国电子科技集团公司第二研究所	2	1	1.0	1.0
5	贾少雄	中国电子科技集团公司第二研究所	11	19	3.0	3.0