声表面波紫外光探测器的研究进展

• 作者: 刘翊 吴建辉 周剑 段辉高 殷长帅 熊硕
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 紫外探测 氮化镓 氧化锌
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1433-1445
• 页数: 13页
• 分类号: TN23
• 字数: 5700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202807.1433

摘要

基于声表面波技术的紫外探测器具有响应速度快、灵敏度高、制作简单且可以无线无源监测等众多优势,成为近年来紫外探测领域的研究热点.本文根据紫外敏感薄膜分类综述了声表面波紫外探测的研究进展,剖析了声表面波紫外探测敏感机理,阐述了氮化镓、掺杂氮化镓、氧化锌、掺杂氧化锌、纳米结构氧化锌,氮化铝等敏感膜的材料特点、制备加工及其紫外探测器性能等.分析了近年来新型声表面波紫外传感器的研究状况,展望了声表面波紫外探测的未来发展趋势与挑战.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴建辉	湖南大学机械与运载工程学院汽车车身设计与制造国家重点实验室	22	315	11.0	17.0
2	殷长帅	湖南大学机械与运载工程学院汽车车身设计与制造国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	周剑	湖南大学机械与运载工程学院汽车车身设计与制造国家重点实验室	5	8	2.0	2.0
4	刘翊		1	0	0.0	0.0
5	熊硕	湖南大学机械与运载工程学院汽车车身设计与制造国家重点实验室	1	0	0.0	0.0