基于氧化石墨烯的ST-cut声表面波高性能湿度传感器

• 作者: 王金龙 蒋媛媛 郭袁俊 龙宫頔
• 来源期刊: 实验技术与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 声表面波 氧化石墨烯 ST-cut石英基底
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制
• 页码范围: 105-108
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2660字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16791/j.cnki.sjg.2020.01.027

摘要

开发了氧化石墨烯(GO)涂覆的ST-cut石英声表面波(SAW)湿度传感器.SEM和FTIR研究发现GO表面呈现起伏褶皱状且含有亲水性基团,这有利于薄膜对水分子的吸附;还发现SAW湿度传感器的频移响应由质量负载效应提供,且高湿度下传感器频移的指数增加归因于水凝结引起的阻尼效应.该传感器具有良好的灵敏度、几乎为零的温度系数、稳定的短期重复性与长期稳定性,且成本低,为湿度传感的研究提供了较好的选择.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭袁俊	电子科技大学物理学院	12	45	4.0	6.0
2	蒋媛媛	电子科技大学电子科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
3	王金龙	电子科技大学物理学院	1	0	0.0	0.0
4	龙宫頔	电子科技大学物理学院	1	0	0.0	0.0