光栅尺标定系统的设计及仿真

• 作者: 熊显名 吴坚 杜浩
• 来源期刊: 桂林电子科技大学学报
• 关键词: 模块化设计 标定系统 模态分析 谐波分析
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 511-515
• 页数: 5页
• 分类号: TH122|TH241
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-808X.2020.06.010

摘要

为了提高位移测量系统的测量精度,通过分析双频激光干涉仪与光栅尺的测量原理,并采用模块化设计思想,设计了一种基于双频激光干涉仪的光栅尺标定系统.用Solidworks完成标定系统的三维建模,取标定系统前五阶进行模态分析,根据模态分析结果不断完善标定系统,对最终标定系统进行振动谐波分析.谐波分析结果表明,在一阶共振频率附近,光栅读头与激光干涉仪最大振幅16 nm以下,在其余频段振幅小于10 nm,满足设计要求.