多相绕组电子束偏转扫描装置仿真分析

• 作者: 李瞾 薛展仁 韦寿祺
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束 多相绕组 偏转扫描 模拟仿真
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 465-470
• 页数: 6页
• 分类号: TG661
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.05.13

摘要

为了提高带电粒子束通道内磁感应强度均匀度,分析了磁偏转扫描装置的线圈匝数密度分布对磁场的影响,表明扫描绕组的匝数密度沿横截面圆周按正弦规律分布,那么横截面内磁感应强度呈均匀分布.工程实际中绕组分布不可能严格按照正弦分布,为弱化绕组量化分布效应,从而提出了采用大于两相的多相绕组结构,建立了几何模型和有限元模型,并利用Maxwell软件对不同绕组相数的磁偏转扫描装置进行电磁场仿真,并制作实物进行测量,测量结果与仿真结果基本一致,表明相数越多偏转扫描装置通道内的磁场强度均匀度越高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦寿祺	桂林电子科技大学机电工程学院	49	284	6.0	15.0
2	薛展仁	桂林电子科技大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0
3	李瞾	桂林电子科技大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0