可见光和近红外双带通薄膜滤光片的光谱调控

• 作者: 刘定权 张莉 王凯旋 陈刚 马冲 高凌山
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 双光谱通道滤光片 离子束溅射沉积 光谱控制
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 791-795
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2020.06.018

摘要

空间对地观测的遥感相机中需要基于干涉薄膜的双光谱通道滤光片,在同一几何点上同时形成可见光(波长500～720 nm)和近红外(波长(1064±1)nm)两个光谱通道.这两个光谱通道的光谱位置和透射强度均需要进行精确控制.选用JGS-1石英玻璃作为滤光片基片,氧化钽(Ta2O5)和氧化硅(SiO2)分别作为高、低折射率薄膜,由双离子束溅射沉积方法将52层和88层介质薄膜分别镀制在基片的两个表面上.500～720 nm波段的平均透过率达到92％,(1064±1)nm波段的峰值透过率控制在(26±1)％的范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘定权	中国科学院上海技术物理研究所	49	176	8.0	12.0
2	张莉	中国科学院上海技术物理研究所	74	1221	19.0	33.0
3	陈刚	中国科学院上海技术物理研究所	183	1886	20.0	37.0
4	马冲	中国科学院上海技术物理研究所	3	4	2.0	2.0
5	王凯旋	中国科学院上海技术物理研究所	1	0	0.0	0.0
6	高凌山	中国科学院上海技术物理研究所	2	2	1.0	1.0