大口径压电倾斜镜的反作用力分析及补偿研究

• 作者: 冉兵 文良华 杜睿 杨平 杨康建 王帅 许冰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 压电倾斜镜 多体系统刚柔耦合 压电耦合 反作用力 动量补偿
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 68-77
• 页数: 10页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0601007

摘要

针对压电快速倾斜镜的反作用力对有效光学元件的复杂动态耦合干扰问题,提出了基于多体系统的刚柔耦合和基于压电耦合理论的反作用力分析方法,对压电倾斜镜的反作用力进行了分析和补偿,并获取了中心柔性铰链的热点应力.理论和实验结果表明:压电耦合求解相比于多体系统的刚柔耦合方法更能准确地反映反作用力特性,实验测得反作用力的补偿比例可以达到90.14％,与数值计算的差异为3.96个百分点.所提的反作用力分析方法和动量补偿结构可为计算和消除倾斜镜的反作用力对光学系统的耦合干扰提供借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许冰	中国科学院光电技术研究所	48	460	10.0	20.0
2	杨平	中国科学院光电技术研究所	41	409	9.0	20.0
3	王帅	中国科学院光电技术研究所	133	716	13.0	21.0
4	杜睿	中国科学院光电技术研究所	39	991	17.0	31.0
5	文良华	中国科学院光电技术研究所	14	28	3.0	5.0
6	冉兵	中国科学院光电技术研究所	1	0	0.0	0.0
7	杨康建	中国科学院光电技术研究所	2	0	0.0	0.0