一种(10-1～10-10) Pa·m3/s标准气体流量计的设计

• 作者: 卢耀文 吴端 周青枝 杨传森 梁明超 王汐月 闫睿 陈俊儒 陈春 陈静
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气体流量计 参考标准 检漏仪 漏孔 计量
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 674-678
• 页数: 5页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.07.15

摘要

为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10-1 ～10-10)pa·m3/s的标准气体流量计.装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块组成,通过定容法和流量法提供标准气体流量.采用容积约为5和0.1L的真空室作为定容室,同时为流导元件入口提供一定压力的气体;仅用两台电容薄膜真空计作为参考标准测量真空室气体压力,通过PLC触摸屏或计算机进行测量数据采集及运行控制;采用激光在铂金片上打孔并进行真空镀膜的工艺获得10-10 m3/s流导元件.设计的装置外形尺寸不超过500mm×400mm ×500mm,主体重量小于35 kg,提供的流量范围为(10-1 ～10-10) Pa· m3/s,具有成本低、操作方便、便携等优点.