微纳米台阶高度评定方法的比较与分析

• 作者: 余茜茜 卜祥鹏 张树 施玉书 李伟 李琪 李适 皮磊 高思田 黄鹭
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 纳米台阶高度 评定方法 重复性 一致性
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 比较与优化
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2020.08.06

摘要

台阶高度作为纳米计量领域中的一个具有代表性的参数,其评定方法层出不穷,本文对现有的台阶高度评定方法进行了介绍,并对其重复性以及一致性进行了分析.结果表明:点对点法和直方图算法受噪声等畸变影响较大,重复性较差;而对直方图算法进行改进,台阶高度由计算直方图中分别对应台阶高、低区域的峰值的横坐标之差转而计算重心的横坐标之差,重复性提高;ISO法、最小二乘多项式拟合法和光学显微解耦合准则重复性较好,计算结果更稳定.通过计算归一化偏差En值来判别6个评价方法的一致性,结果表明其测量结果等效一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	李伟		27	92	5.0	8.0
3	施玉书		35	121	5.0	8.0
4	李琪		21	48	4.0	5.0
5	黄鹭		13	16	2.0	3.0
6	李适		11	25	3.0	4.0
7	余茜茜		1	0	0.0	0.0
8	张树		6	6	1.0	2.0
9	皮磊		4	6	1.0	2.0
10	卜祥鹏		1	0	0.0	0.0