基于双声表面波器件的引信加速度传感器

• 作者: 孙国先 赵永昌
• 来源期刊: 电脑与电信
• 学科: 工学
• 关键词: 引信 加速度传感器 双声表面波器件
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 应用技术与研究
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: TJ432.3
• 语种: 中文

摘要

针对基于压阻效应和电容原理的硅微加速度传感器存在温度漂移、分辨率低和抗干扰能力差的缺点,提出一种基于双声表面波器件的引信加速度传感器.该传感器采用双声表面波器件结构,一个声表面波器件上镀以敏感膜用于测量,另一个声表面波器件是未镀膜的参考通道用于对环境温度、压力、湿度等因素的补偿.验证试验结果表明:基于双声表面波器件的引信加速度传感器最大线性误差仅为1.6％,灵敏度为54.3Hz/g,最大迟滞误差小于1％.该加速度传感器相比于压阻式和电容式加速度传感器,线性误差小、灵敏度高,具有极强的抗干扰能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵永昌	中国兵器工业集团第212研究所(西安机电信息技术研究所)	2	0	0.0	0.0
2	孙国先	中国兵器工业集团第212研究所(西安机电信息技术研究所)	2	0	0.0	0.0