Ka波段在线自检测MEMS微波功分器的设计与优化

• 作者: 张志强 郑从兵 黄晓东
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 自检测 微波功分器 微波功率传感器
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1229-1234
• 页数: 6页
• 分类号: TP393
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.09.001

摘要

提出了一种基于MEMS技术,由MEMS微波功分器和在线式MEMS微波功率传感器组成的在线自检测MEMS微波功分器,实现了MEMS微波功分器在Ka波段的实时在线功率自检测.MEMS微波功分器为T型功率等分功分器,由共面波导、圆形的不对称共面带线和空气桥构成,三个端口处分别放置三个相同的在线式MEMS微波功率传感器用于端口处信号功率的实时监测.该结构基于GaAs MMIC工艺,它可以与GaAs微波电路实现单片集成.通过ADS和HFSS软件的协同仿真,在中心频率34 GHz处,回波损耗S11小于-30 dB,插入损耗S21(S31)约为-4.7 dB.在26 GHz～40 GHz的频率范围内,S11约小于-15 dB,隔离度S23小于-15 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志强		86	967	18.0	28.0
2	黄晓东		4	0	0.0	0.0
3	郑从兵		2	0	0.0	0.0