基于氮化铝薄膜的压电水听器的研制

• 作者: 刘铮 王强 薛晨阳 赵龙
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: A1N 水听器 单电极 振动薄膜 ICP刻蚀 阵列结构
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 128-134
• 页数: 7页
• 分类号: TB565+.1
• 字数: 4493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2020.01.020

摘要

为将氮化铝(AlN)的压电特性与微电子机械系统(microelectro mechonical system,MEMS)的微加工技术相结合,研制基于AlN压电薄膜结构的单电极水听器.通过采用COMSOL仿真方法研究了器件在20 ～100 Hz低频范围内谐振特性,结果表明压电薄膜优化厚度0.8 ～1.0 μm,振动薄膜直径100 μm.给出了器件制备工艺流程,采用感应耦合等离子体(inductivelycoupled plasma,ICP)精准刻蚀A1N薄膜提高成品率,并对实际样品进行高静水压等环境适应性测试.单个水听器阵列结构是40 ×40,实际尺寸为7 mm×7 mm,可见AlN薄膜可以用来制备高性能的水听器集成系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	113	575	12.0	19.0
2	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	赵龙	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	12	37	4.0	5.0
4	刘铮		2	2	1.0	1.0