声波作用下双质量块MEMS陀螺仪失效机制研究

• 作者: 冯立辉 卢晨燕 杨爱英 王佳宇 郭芃
• 来源期刊: 自动化与仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 声波干扰 MEMS陀螺仪 双质量结构 失效机制
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 理论创新
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TH824
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.1001-9227.2020.06.006

摘要

双质量块MEMS陀螺仪容易受谐振频率附近的声波干扰.为了研究双质量块MEMS陀螺仪的失效机制,建立了考虑声场分布差异和结构非对称性的失效模型.首先仿真了两种失效模式下线性扫频声波对陀螺仪输出信号的干扰,发现陀螺仪的频率响应特性存在双谐振峰.然后对型号为MUG02的双质量块MEMS陀螺仪进行了声波干扰实验,首次观察到双谐振峰现象,即分别在5.90 kHz和6.17 kHz处产生了4.65°/s和15.90°/s的伪角速度信号,实验结果验证了失效模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯立辉	北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室	21	75	5.0	8.0
2	杨爱英	北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室	21	97	5.0	9.0
3	郭芃	北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室	2	0	0.0	0.0
4	王佳宇	北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室	2	0	0.0	0.0
5	卢晨燕	北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室	2	0	0.0	0.0