配置不同类型探测器的X射线荧光测厚仪对比研究

• 作者: 尹丽晶 武利会 陈美静
• 来源期刊: 环境技术
• 学科: 工学
• 关键词: X射线荧光测厚仪 探测器 Si-PIN SDD
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 环境试验设备
• 页码范围: 205-209
• 页数: 5页
• 分类号: TH842
• 字数: 2500字
• 语种: 中文

摘要

X射线荧光测厚法是对电子元器件金属镀层厚度进行测量的主要方法之一.本文对X射线荧光测厚仪的工作原理、结构进行了分析,对其核心组成部分探测器的三种类型的性能参数进行了对比,并选取相应型号的测厚仪进行了对比测试,对测量结果进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹丽晶	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	2	1.0	1.0
5	武利会	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	0	0.0	0.0
9	陈美静	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	0	0.0	0.0