基于气旋原理的MEMS热膜式气体流量传感器除尘装置

• 作者: 孙中圣 李小宁 葛言 袁昌荣
• 来源期刊: 机械设计与制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 气旋除尘 MEMS热膜式气体流量传感器 正交试验
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 102-106
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 2250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-509X.2020.05.021

摘要

为了提高MEMS热膜式气体流量传感器的防尘能力,设计了一种基于气旋原理的除尘装置.运用正交试验的方法,在适当的范围内选取尺寸参数进行组合,以提高除尘效率为优化目标,通过仿真确定了除尘装置尺寸参数的具体数值,并且进一步分析了除尘装置的除尘性能.通过实验测量除尘装置的支路流量比例、压力损失和除尘效率,验证了仿真分析的结果,测定了防尘装置的实际工作性能.结果表明:除尘装置对粒径在5μm以上的粉尘具有良好的除尘效果,除尘效率最高可达80％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小宁	南京理工大学机械工程学院	117	782	14.0	21.0
2	孙中圣	南京理工大学机械工程学院	24	101	5.0	9.0
3	葛言	南京理工大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0
4	袁昌荣	南京理工大学机械工程学院	4	3	1.0	1.0