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摘要:
针对洁净工作台的计量溯源需求,探讨其计量特性和校准项目,参考相关标准对洁净工作台的校准方法进行研究,并提出校准方法.采用该校准方法对洁净工作台进行试验,并对校准结果的不确定度进行评定,结果表明该校准方法科学合理、可操作性强,可用于评价洁净工作台的计量性能.
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文献信息
篇名 洁净工作台校准方法的研究
来源期刊 计量科学与技术 学科
关键词 洁净工作台 校准方法 计量特性
年,卷(期) 2020,(12) 所属期刊栏目 标准与比对
研究方向 页码范围 50-54
页数 5页 分类号
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.2096-9015.2020.12.11
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研究主题发展历程
节点文献
洁净工作台
校准方法
计量特性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
计量技术
月刊
1000-0771
11-1988/TB
大16开
北京市朝阳区北三环东路18号
2-796
1957
chi
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