基于亚波长光栅的高集成度垂直光耦合器

• 作者: 孙崇磊 徐晓 赵佳 赵然
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 亚波长结构 耦合器 亚波长光栅 异质集成
• 年，卷（期）: 2020,（14）
• 所属期刊栏目: 衍射与光栅
• 页码范围: 20-25
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.1405002

摘要

设计了一种基于亚波长光栅的具有高集成度、高耦合效率的垂直光耦合器,在1.5～1.6μm波长范围内实现了大于97％的耦合效率,且器件长度仅为15 μm,是传统基于绝热拉锥波导的垂直耦合器尺寸的十分之一,提高了系统的集成度.在亚波长光栅占空比、拉锥波导尖端尺寸以及波导错位方面,所设计的耦合器均具有较大的工艺误差容限,在异质集成领域展现出了良好的应用前景.