考虑二次反射条纹的透明被测件多表面干涉测量

• 作者: 常林 闫恪涛 王陈 孙涛 于瀛洁
• 来源期刊: 光学精密工程
• 关键词: 干涉测量 多表面干涉 移相算法 二次反射信号 最小二乘迭代
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学|Modern Applied Optics
• 页码范围: 2605-2613
• 页数: 9页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202812.2605

摘要

为了实现多表面干涉测量,提出了一种基于最小二乘原理的迭代移相算法.通过将二次反射信号纳入最小二乘求解方程中,进一步提高干涉测量精度.根据最小二乘原理将理论值与实际干涉信息相联系从而构建最小二乘方程,该方程分为两部分:初始相位的迭代计算和每两帧之间的移相值的迭代,通过21帧干涉图的迭代结果,求解得到较为准确的初始相位分布.仿真结果表明,不考虑二次反射信号的求解精度为10 nm,将该信号纳入计算以后可将求解精度提高到0.3 nm.通过实测数据的实验结果可知,该算法可以求解出较为精确的相位分布,并且求解结果中没有杂波干扰和谐波信号残余,能够实现多表面透明透镜的高精度测量.