扫描哈特曼方法的像质检测性能分析

• 作者: 任戈 戴勋义 谢宗良 谭毅
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 扫描哈特曼技术 Zernike多项式 像质检测 子孔径斜率
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 109-116
• 页数: 8页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.0712002

摘要

扫描哈特曼技术是检测大口径望远镜像质的常用方法,但其对不同阶次像差的检测能力和不同子孔径分布下的检测精度尚不明确.利用基于Zemax和Matlab的仿真模型对该技术的检测性能进行了探究.仿真结果表明:扫描哈特曼法能有效检测到最高第28阶像差,方均根(RMS)相对误差在5％以内,在对多阶混合像差检测时难以有效分辨其中的高阶成分;采用相切子孔径分布能较好地平衡检测精度和检测效率;增加子孔径数目能提升检测精度,但增加到一定数目后精度提升十分缓慢,同时检测时间大幅增加.