低成本MEMS陀螺频率特性测试方法

• 作者: 陈阳
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS陀螺 频率特性 离散形式相关分析 同步采样
• 年，卷（期）: 2020,（13）
• 所属期刊栏目: 数据采集及信号处理
• 页码范围: 138-142
• 页数: 5页
• 分类号: TN710.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.2004319

摘要

陀螺作为角速率测量元件,常应用在控制系统的反馈回路,其性能直接影响闭环系统的性能,因此需要对其频率特性进行测量.低成本MEMS陀螺带宽较高,这就给频率特性测试及相关的数据处理带来了困难.为了准确测定这类陀螺的频率特性,首先给出了直接利用离散测量结果计算频率特性的方法,相比于利用连续形式的相关分析法处理数据,所给出的计算方法避免了数值法计算积分;其次利用角振动台作为角运动激励源,配合可以实现多源数据同步的实时数据采集系统采集角振动台和陀螺输出,构建了角速率陀螺频率特性测试系统;最后对某型低成本MEMS陀螺进行了频率特性测试,并总结了测试流程和注意事项.给出的测试方案能够获得MEMS陀螺频率特性,为采用MEMS陀螺作为角速率测量元件的控制系统分析提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	39	362	9.0	18.0