振镜激光扫描测量系统误差分析与补偿

• 作者: 王腾 杨树明 李述胜 袁野 胡鹏宇 刘涛 贾书海
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 机器视觉 误差补偿 振镜扫描 线结构光测量
• 年，卷（期）: 2020,（23）
• 所属期刊栏目: 机器视觉|Machine Vision
• 页码范围: 156-168
• 页数: 13页
• 分类号: TH-39
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.2315001

摘要

振镜扫描系统因其具有高速和高精度等优点被广泛应用于激光快速成型、激光精密打标和激光扫描测量等诸多领域,但因振镜系统的引入而存在系统测量误差.鉴于此,首先搭建线激光一维振镜扫描系统并采用双棋盘格标定板的标定方法对系统进行标定,然后建立系统的误差模型并对扫描过程中的测量误差进行理论分析,最后针对振镜转角误差提出一种基于查表法的补偿方法.实验结果表明,当测量工作距离为250 mm左右时,误差补偿后,中心距离的方均根误差从0.733 mm降低至0.061 mm,标准差从0.200 mm降低至0.060 mm,说明该方法能够显著提高系统的测量精度和鲁棒性.