反射式偏振相移动态点衍射干涉技术的研究

• 作者: 王晨 周游 鲁棋 徐天柱 刘世杰
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 测量与计量 干涉测量 球面面形 点衍射干涉仪 偏振相移
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 测量与计算|Measurement and Metrology
• 页码范围: 156-163
• 页数: 8页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.1004003

摘要

为了抑制环境振动引入的测量误差,实现对球面光学元件面形的动态检测,提出了一种基于微偏振片阵列的反射式针孔点衍射干涉系统.该干涉系统使用短相干激光光源获得两束相干光,通过调节两束偏振光的光强比调节干涉条纹的对比度,利用集成微偏振片阵列CCD相机采集的单帧图像获得4幅相移干涉图,实现动态检测.用该干涉系统和ZYGO干涉仪测量同一凹面镜样品,得到的面形结果相吻合,验证了该干涉系统测量结果的准确性.在实验测量平台上外加电动机产生振动条件,结果表明,当振动速度小于16 μm/s时,都可得到较准确的面形测量结果,表明该干涉系统的抗振性能较好.