ZEISS ULTRA55场发射扫描电镜的使用及常见故障处理

• 作者: 余红华 孙峰 曾丽珍 林国辉 江丹 汪一聪 王丹
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射扫描电镜 使用 故障处理
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 分析测试
• 页码范围: 195-196
• 页数: 2页
• 分类号: TN16|TG115.21+5.3
• 字数: 2658字
• 语种: 中文

摘要

以ZEISS ULTRA 55场发射扫描电镜为例,详细阐述了扫描电镜的基本结构、工作原理与操作技巧,为扫描电镜的初学者和相关从业者提供一定的技术参考;同时介绍了在日常使用中遇到的故障及解决方法,强调了规范使用、细心维护与及时处理故障是保证扫描电镜正常运行、延长使用寿命和节约维修费用的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙峰	华南师范大学分析测试中心	20	317	10.0	17.0
2	林国辉	华南师范大学分析测试中心	16	155	7.0	12.0
3	曾丽珍	华南师范大学分析测试中心	13	60	3.0	7.0
4	王丹	华南师范大学分析测试中心	8	26	2.0	5.0
5	余红华	华南师范大学分析测试中心	10	20	3.0	4.0
6	汪一聪	华南师范大学分析测试中心	5	0	0.0	0.0
7	江丹	华南师范大学分析测试中心	4	3	1.0	1.0