MEMS器件典型缺陷与可靠性分析

• 作者: 李智 许艳君 闫玉波
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2020,（19）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

近年来,MEMS技术取得了飞速发展,应用范围不断扩大,具有巨大的发展潜力,但其可靠性问题已成为制约其发展的关键因素之一.本文阐述了MEMS器件特点,对比分析了MEMS与IC在材料、结构及工艺上的差异,重点关注了典型MEMS器件工艺流程中可能引入的缺陷类型,及这些缺陷将导致的可靠性问题.对进行MEMS器件的DPA试验和失效分析工作有一定意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许艳君		1	0	0.0	0.0
2	闫玉波		1	0	0.0	0.0
3	李智		1	0	0.0	0.0