CO2激光熔融毛细管端面制备的光纤F-P压力传感器

• 作者: 张皓月 李红 孟凡勇 徐滔 祝连庆
• 来源期刊: 半导体光电
• 关键词: 光纤F-P CO2激光 毛细管端面 硅薄膜 压力传感器
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TN253
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2021.01.006

摘要

提出了一种利用CO2激光熔融毛细管端面来制备光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器的方法.F-P结构由普通单模光纤和基于CO2激光熔融毛细管端面制备的硅薄膜组成.文章详细说明了硅薄膜的制造工艺和熔融参数,并对光纤F-P压力传感器进行了性能测试.实验结果表明:制备的光纤F-P压力传感器对气压具有良好的灵敏度和线性度,灵敏度可达到16.37pm/kPa,线性度为0.998.该光纤F-P压力传感器结构紧凑,易于生产,具有在极端恶劣环境下的应用潜力.