InSb红外焦平面探测器的区域性过热盲元问题研究

• 作者: 程雨 龚志红 肖钰 黄婷 温涛 亢喆 宁提
• 来源期刊: 红外
• 关键词: 区域性过热盲元 InSb 红外探测器
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 9-16
• 页数: 8页
• 分类号: TN362
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2021.07.002

摘要

研究了InSb红外焦平面探测器的区域性过热盲元问题.通过故障分析以及有针对性的排查对比试验,排除了封装、胶水填充和划片等因素,并将故障定位在钝化工艺前.通过对钝化前的InSb材料片表面进行X射线光电子能谱测试,发现它含有A1和As等杂质元素,存在钝化前材料表面杂质含量较多的隐患.杂质元素在PN结的耗尽区形成杂质能级,加载电压后容易导致PN结漏电流较高,使I-V特性退化,从而形成过热盲元.通过缩短器具洗液的更换周期并且分隔使用多个生产线的器具,可以减少材料表面的杂质附着,使区域性过热盲元问题得到有效解决.