基于结构参数的硅谐振式加速度计频率特性分析

• 作者: 郭雪涛 李逸伦 李鹏飞
• 来源期刊: 导航与控制
• 关键词: 谐振器 结构参数 频率特性 硅谐振式加速度计
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器与执行机构|Sensors and Actuators
• 页码范围: 68-73
• 页数: 6页
• 分类号: U666.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674⁃5558.2021.02.010

摘要

硅谐振式加速度计精度高、稳定性好、数字输出,且体积小、成本低、易于集成,是惯性加速度计未来的发展方向之一.根据谐振式加速度计的原理对其关键结构参数对谐振频率及加速度计灵敏度的影响进行了理论分析,并结合硅谐振式加速度计的具体工作情况与谐振梁的实际结构合理设置仿真边界条件,分别对一种硅谐振式加速度计谐振器的谐振梁宽度、谐振梁厚度、谐振梁长度以及双谐振梁间距进行仿真分析,从理论与仿真两个方面得到了关键结构参数对谐振频率与加速度灵敏度的影响规律,验证了仿真结果与理论推导结果的一致性与差异点,为后续高机械灵敏度结构设计提供参考依据.