自动称重系统在全自动硅片上下料机的应用

• 作者: 剌颖乾
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 光伏 刻蚀 称重系统 减薄量
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备|Semiconductor Manufacturing
• 页码范围: 21-24,59
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.005

摘要

以自主研发的刻蚀工序自动化设备为基础,设计上下料机自动称重系统,测量刻蚀工艺前后电池片的减薄量变化,为工艺优化提供有力数据支持,同时提高效率,避免人工称重对电池片的污染和产能的影响.