Micro-LED显示器量化生产关键技术

• 作者: 蔡克新
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 新型平板显示 微缩化发光二极管 有机化合物化学气相沉积 原子层淀积 晶圆键合
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 材料制造工艺与设备|Material Manufacturing
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.007

摘要

为快速推动Micro-LED显示器产业化发展,结合Micro-LED微显示器的性能特点、制造工艺流程和产品应用优势,重点分析了基于硅/蓝宝石衬底的GaN外延生长技术、芯片侧壁原子层沉积技术、芯片转移和晶圆级键合等技术.通过显示产业材料、工艺设备、芯片制造、终端应用全产业链的上下游协同创新,快速突破Micro-LED量化生产关键技术,必将提升Micro-LED的产业化技术能力,带来新一轮显示技术升级换代.