基于MSC的低量程SAW压力传感器研究

• 作者: 杨刚 李媛媛 曹乐 江蓓 季雪咪
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 关键词: 低量程压力 声表面波 多条耦合器 旁瓣 体声波 叉指换能器
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器技术|Sensor Technology
• 页码范围: 1-5,9
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2021.05.001

摘要

随着声表面波(SAW)传感器在低量程压力检测领域的应用,其测量精确度的要求随之提高.针对SAW传感器频率响应曲线旁瓣扰动过大和体声波(BAW)干扰的问题,研究设计了一种基于多条耦合器(MSC)的低量程SAW压力传感器.围绕SAW传感器设计原理,将输入输出叉指换能器(IDT)均采用余弦平方函数加权设计能有效减少频率响应的旁瓣扰动.根据声表面波传播原理,利用MSC的设计以过滤BAW干扰.通过对传感器的实验测试,表明了该传感器在实现低量程压力检测方面具有可行性.同时对于旁瓣和BAW的干扰具有一定抑制作用.