飞秒激光直写偏振转换器件和几何相位器件(特邀)

• 作者: 王磊 王熠 王琳 徐帅 樊华 牛立刚
• 来源期刊: 光子学报
• 关键词: 飞秒激光 偏振转换 几何相位 纳米光栅 微光学
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: “硬脆材料超快激光精密加工”专题|Special Issue for Ultrafast Laser Precision Machining of Hard and Brittle Materials
• 页码范围: 38-49
• 页数: 12页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20215006.0650103

摘要

光学器件的微型化和集成化是当前研究的热点,其中利用微纳结构实现局域电磁改性的超构光学更是引人关注.本文从微纳结构的制备出发,总结了利用超衍射精密加工的飞秒激光直写技术,制备偏振转换器件和几何相位器件的工作.介绍了微纳结构改性的物理机制,飞秒激光直写光刻胶、飞秒激光烧蚀金属薄膜、飞秒激光诱导纳米光栅等手段在偏振转换器件和几何相位器件制备方面的进展,展望了飞秒激光微纳加工技术在超构光学器件制备方面的挑战.