铌酸锂单晶薄膜材料

• 作者: 李青云 朱厚彬 张洪湖 张秀全 胡卉
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 关键词: 铌酸锂 薄膜 离子注入 直接键合 化学机械抛光
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 综合评述|Reviews
• 页码范围: 716-723
• 页数: 8页
• 分类号: O734
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2021.04.013

摘要

铌酸锂晶体集电光、声光和非线性光学等物理特性于一身,且透光范围宽,作为一种重要的光学材料被广泛应用于通信、传感等领域.通过离子注入与直接键合的方式制备出的铌酸锂单晶薄膜材料,保留了铌酸锂体材料的优秀物理特性,并且具有高折射率对比度的优点,使光子器件在集成度和性能上都得到了很大程度的提升.本文介绍了铌酸锂薄膜的制备及应用,展示了直径6英寸(1英寸=2.54 cm)的铌酸锂单晶薄膜.将硅单晶薄膜覆盖在铌酸锂单晶薄膜上面,形成一种新型的复合薄膜材料,结合了铌酸锂出色的光学性能和硅出色的电学性能,本文报道了直径3英寸的复合薄膜材料,X射线证明硅薄膜是单晶结构,这种复合薄膜在未来的集成光电芯片中具有应用潜力.