基于微机械电子技术的黏度测量传感器

• 作者: 黄琳雅 赵立波 罗国希 李支康 吴德志 林启敬 杨萍 蒋庄德
• 来源期刊: 机械工程学报
• 关键词: 流体黏度 测量方法 微机械电子系统 谐振
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 特邀专栏
• 页码范围: 13-22
• 页数: 10页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2021.08.013

摘要

黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法,基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景.微机械电子系统(Micro-electromechanical systems,MEMS)技术的蓬勃发展促使黏度测量集成化、智能化与实时性,多样化黏度测量方法不断涌现,其中谐振式黏度测量受到颇为广泛而深入的关注,并显示了瞩目的 检测性能.首先回顾传统的黏度测量方法,然后再介绍了基于微机械电子技术的谐振式黏度测量方法,并分别总结了各自的特点.最后,对MEMS谐振式黏度测量方法的发展趋势进行了展望.